Российские инженеры завершили разработку литографической системы технологии 30-летней давности
Зеленоградский наноцентр (ЗНТЦ) в сотрудничестве с белорусской компанией Planar завершил разработку первой отечественной литографической системы, поддерживающей техпроцесс 350 нм (0,35 микрон). Оборудование прошло официальные проверки и сейчас находится на этапе интеграционных испытаний в Зеленограде. Новая установка для 200-миллиметровых пластин использует твердотельный лазер с размером поля экспонирования 22×22 мм (484 мм²).... Больше


Больше